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2018年度中國建材集團科學技術獎一等獎項目之八

來源:科技管理部  發布時間:2019-02-28

項目名稱:高馬赫數飛行用CVDZnS紅外窗口的制備技術

完成單位:北京中材人工晶體研究院有限公司

主要科技內容與創新點:

       國外通常采用H2S模式的CVD制備技術,其設備復雜而且昂貴,且使用有毒易燃H2S氣體,環保性差。我院通過多年的自主研究,采用以高純硫為原料的S模式化學氣相沉積(CVD)法成功的制備出大尺寸的CVDZnS板材和頭罩。與國外技術相比較,S模式的CVD制備技術具有制備成本低,污染小等特點。

創新點:

      1.自行設計設計CVDZnS沉積設備,具有完全的自主知識產權,在國內率先采用單質S固相化學氣相沉積法制備ZnS。

      2.S模式的CVD方法,采用高純硫生長CVDZnS,S模式的CVD方法避免了在制備過程中直接使用劇毒H2S氣體。

      3.通過S模式生長出來的CVDZnS,在紅外波段無吸收峰,透過率接近理論指標,光學性能優異,可作為紅外中長波透過材料。

      4.率先采用S模式化學氣相沉積法制備出抗高馬赫數飛行用CVDZnS材料,使用溫度由國外同類產品的不到200℃提升至400℃以上,大大提高所用導彈的飛行速度。

聯系人:010-65492620/21/22/23 -8000

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